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	紫外LED阵列匀光照明中失效安全设计
	蔡文涛; 尹韶云; 向阳; 孙秀辉; 杜春雷; 杨若夫
	2018-02-10
摘要	为了弱化或消除LED失效对均匀性的影响,提出了一种基于复眼透镜的匀化光斑整体累加方案.该方案先对单颗LED进行匀化设计,再通过LED位置误差研究推广至LED阵列,实现每颗LED在曝光面上均能产生相同大小的匀化光斑.然后利用软件进行仿真,设计了一款曝光光源,并搭建了相应实验平台.该光源最大辐照度值为18.2mW/cm~2,均匀性为86.9%,完全满足实际曝光指标.在此基础采用遮挡光源的方式模拟不同位置的LED失效,进行了辐照度均匀性实验.结果表明,少量LED失效对辐照度均匀性的影响在1%以内,甚至LED阵列接近一半失效时均匀性仅下降5%.该设计方案可长期维持辐照度均匀性,更适用于实际生产.
关键词	紫外LED 失效安全 光学设计 匀光照明 曝光
发表期刊	光子学报
ISSN	1004-4213
期号	4页码:14-20
收录类别	CSCD
CSCD记录号	CSCD:6193549
语种	中文